機動車輛上使用的壓力傳感器是用于帶油壓助力裝置的制動系統(tǒng)中的油壓控制，是可以檢測出儲壓器的壓力，輸出油泵的閉合和斷開信號以及油壓異常的報警，在汽車壓力傳感器中是有半導(dǎo)體應(yīng)變片，利用了應(yīng)變片具有形狀變化時，電阻也發(fā)生變化的特性。

現(xiàn)在，壓力傳感器它廣泛地應(yīng)用在汽車上。汽車壓力傳感器的歷史開始于1979年，用于引擎燃燒控制的多種絕對壓力傳感器。隨后，它被廣泛地用于高壓場合，如懸掛壓力探測和空調(diào)制冷壓力探測。在引入OBD（車載自動診斷系統(tǒng)）后，壓力傳感器也擴展到了低壓場合，如揮發(fā)的汽油泄漏探測?，F(xiàn)在，壓力傳感器更進(jìn)一步地擴展到了高壓場合，如汽油燃燒噴射和柴油共軌燃燒噴射系統(tǒng)。顯然，壓力傳感器在汽車上有廣闊的發(fā)展前景。

壓力傳感器工作原理部分壓力傳感器可以廣義地分為三類：壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。

下面，本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，再介紹應(yīng)用于汽車的MEMS技術(shù)智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。

2.1壓阻式壓力傳感器壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件，它是基于壓阻效應(yīng)工作的。所謂壓阻元件實際上就是指在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻，當(dāng)它受外力作用時，其阻值由于電阻率的變化而改變。擴散電阻正常工作時需依附于彈性元件，常用的是單晶硅膜片。

壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結(jié)構(gòu)，封裝在外殼內(nèi)。在一塊圓形的單晶硅膜片上，布置四個擴散電阻，兩片位于受壓應(yīng)力區(qū)，另外兩片位于受拉應(yīng)力區(qū)，它們組成一個全橋測量電路。硅膜片用一個圓形硅杯固定，兩邊有兩個壓力腔，一個和被測壓力相連接的高壓腔，另一個是低壓腔，接參考壓力，通常和壓大氣相通。當(dāng)存在壓差時，膜片產(chǎn)生變形，使兩對電阻的阻值發(fā)生變化，電橋失去平衡，其輸出電壓反映膜片兩邊承受的壓差大小。

2.2 MEMS技術(shù)的智能化硅壓阻傳感器工作原理為了將壓力信號轉(zhuǎn)化為電信號，采用應(yīng)變原理將惠斯頓檢測電橋通過MEMS技術(shù)制作在單晶硅片上，使得單晶硅片成為一個集應(yīng)力敏感與力電轉(zhuǎn)換為一體的敏感元件。

當(dāng)硅芯片受到外界的應(yīng)力作用時，硅應(yīng)變電橋的橋臂電阻將產(chǎn)生變化，一般都為惠斯頓電橋檢測模式。

其輸出電壓表示為：Vo=VBΔR/R（R1=R2，R3=R4，ΔR1=ΔR2，ΔR3=R

4）因為電阻的變化直接與應(yīng)力P有關(guān)，則：Vo=SPVB±Vos式中：Vo為輸出電壓，mV；S為靈敏度，mV/V/Pa；P為外力或應(yīng)力，Pa；VB為橋壓，V；Vo為零位輸出，mV。

單一的硅片芯片只能作為一個檢測單元的一部分無法獨立完成信號的轉(zhuǎn)換，所以必須有特定的封裝使其具備壓力檢測的能力。將硅片芯片與PYREX玻璃環(huán)靜電封接在一起。PYREX玻璃環(huán)作為硅芯片的力學(xué)固定支撐彈性敏感元件并且使硅芯片與封裝絕緣，PYREX玻璃環(huán)的孔恰好成為了傳感器的參考壓力腔體和電極引線腔體。